1. Rotary device including a single driving unit for controlling both rotation and elevation motions

회전 및 승강 모션의 동시 조절을 위한 단일 구동부를 구비한 회전장치

2. The motions of a robot themselves are flexible and can be described in human terms: waist, shoulder, elbow, wrist, flange rotation and arm and wrist bend.

‘로봇’ 그 자체의 작동은 굴절성이 있으며, 허리, 어깨, 팔꿈치, 손목, 회전 ‘플랜지’ 그리고 팔과 손목 ‘벤드’ 같은 인간적인 용어로 묘사될 수 있다.

3. An up and down operating actuator unit which manages upward and downward motions of an opening and closing member, and a forward and backward actuator unit which manages forward and backward motions of the opening and closing member are configured so that the opening and closing member, which opens and closes a wafer movement path, can be accurately operated in an "L"-shaped motion.

개폐부재의 상하방향 움직임을 주관하는 상하작동 액추에이터부와 전후방향의 움직임을 주관하는 전후진 액추에이터부가 구비되어 웨이퍼 이동통로를 개폐하는 개폐부재가 정확하게 엘(L)모션으로 작동되는 장점이 있다.