1. Draft Grayscale (Black cartridge

저품질 그레이스케일(검은색 카트리지

2. Grayscale images are distinct from one-bit bi-tonal black-and-white images which, in the context of computer imaging, are images with only two colors: black and white (also called bilevel or binary images).

회색조 이미지는 1비트 투톤의 흑백 이미지와는 구분되며 컴퓨터 이미징에서 볼 때 이미지는 검은색과 흰색의 두 색만을 가지고 있다(bilevel또는 이진 이미지라고도 불린다).

3. According to the present invention, the ion distribution in the sheath region can be easily monitored on a real-time basis using the grayscale values of the pixels constituting the sheath region in the captured images of the particles in the chamber.

본 발명은 플라즈마 쉬스 내의 이온 분포 모니터링 방법 및 장치로서, 진공 상태에서 플라즈마 챔버 내의 입자들에 대한 제1 촬상영상을 입력받는 단계, 플라즈마 챔버 내에 가스가 주입되고 파워가 인가된 상태에서 플라즈마 챔버 내에 존재하는 입자들에 대한 제2 촬상영상을 입력받는 단계, 제1 및 제2 촬상영상에서 각각의 쉬스(sheath)영역을 구성하는 픽셀들의 그레이스케일 값을 이용하여, 그레이스케일 값에 따른 제1 및 제2 입자수 분포를 각각 획득하는 단계, 그레이스케일 값에 따른 제2 입자수 분포에 대해 제1 입자수 분포를 차감하여 보정된 제2 입자수 분포를 획득하는 단계, 및 보정된 제2 입자수 분포를 이용하여 쉬스영역에 대한 이온 분포를 감시하는 단계를 포함한다.