1. In addition, according to the present invention, the rapid increase in reaction temperature and pressure generated during the mass production of germane gas is readily controlled, and thus it is advantageous for the massive production of mono-germane gas in a good yield.

본 발명은 게르만 가스 제조 장치 및 이를 이용한 모노 게르만 가스 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 게르만 가스 제조 시, 미세 구조의 채널을 포함하는 제조 장치를 이용하여 단시간 내에 반응물질을 혼합하고, 동시에 발생하는 반응열을 제거함으로써, 모노 게르만 가스를 안정적으로 대량 생산할 수 있는 게르만 가스 제조 장치 및 이를 이용한 모노 게르만 가스 제조 방법에 관한 것이다. 또한, 본 발명에 따르면, 게르만 가스의 대량 제조 시 발생하는 반응 온도와 압력의 급격한 상승을 제어하기 용이하며, 따라서, 모노 게르만 가스를 좋은 수율로 대량 생산하기에 유리하다.