1. Test object geometry for ultrasound transmission calibration

Geometrie d'un objet de test pour calibrage par transmission ultrasonore

2. The waves that are backscattered from the test object are evaluated in that an acousto-electric transducer, which is located on a semiconductor crystal, detects the oscillations that are produced in the semiconductor crystal by the backscattered ultrasonic waves.

Les ondes renvoyées par l'objet à tester sont évaluées, du fait que les oscillations produites dans un cristal à semi-conducteur par les ondes ultrasonores renvoyées sont détectées par des transducteurs acousto-électriques disposés sur le cristal à semi-conducteur.

3. For determining aberrations of an optical imaging system (PL), a test object (12,14) comprising at least one delta test feature (10) is imaged either on an aerial scanning detector (110) or in a resist layer (71), which layer is scanned by a scanning device, for example a SEM.

Ce procédé consiste à mettre en image un objet d'essai (12, 14) comprenant au moins une caractéristique d'essai delta (10), soit sur un détecteur à balayage aérien (110), soit dans une couche de résine photosensible (71) qui est balayée par un dispositif de balayage, par exemple un microscope électronique à balayage.