1. 80 - Inspects tools, gauges and measuring devices for accuracy, using precision standard equipment such as gauge blocks, optical comparators, verniers and micrometers.

80 - Inspecter les outils, jauges et dispositifs de mesure pour en déterminer l'exactitude à l'aide d'instruments courants de précision tels que blocs jaugeurs, comparateurs optiques, vernis et micromètres. 10

2. A surface inspection apparatus (1) comprises an image processing inspection part (45) which inspects presence/absence of abnormality in repeated patterns on the surface of a wafer (10) based on diffracted light and second linearly-polarized light detected by a CCD camera (40).

La présente invention a pour objet un appareil d'inspection de surface (1) comprenant une partie inspection de traitement d'image (45) qui inspecte la présence/l'absence d'anomalie dans des motifs répétés sur la surface d'une tranche (10) sur la base de la lumière diffractée et d'une seconde lumière polarisée de manière linéaire détectée par une caméra CCD (40).