1. Disclosed is an aqueous dispersion for chemical mechanical polishing, which is characterized by containing abrasive grains, ferrate ions (FeO42-) and a dispersion medium.

La présente invention concerne une dispersion aqueuse pour polissage chimique-mécanique, qui est caractérisée en ce qu'elle contient des grains abrasifs, des ions ferrate (FeO42-) et un milieu de dispersion.