1. It is therefore possible to detect scattered electrons which have a high scattering angle and are not restricted by the spherical aberration of the electron lens, and to improve depth resolution.

Il est donc possible de détecter des électrons diffusés qui possèdent un fort angle de diffusion et ne sont pas limités par l'aberration sphérique de la lentille électronique, et d'améliorer la résolution en profondeur.