1. Anti-reflective coatings and dual damascene fill compositions comprising styrene-allyl alcohol copolymers

Couches antireflet et compositions de remplissage de double damasquinage contenant des copolymeres styrene-alcool d'allyle

2. 3d interconnect structure comprising fine pitch single damascene backside metal redistribution lines combined with through-silicon vias

Structure d'interconnexion en 3d qui comprend des lignes de redistribution métalliques arrière de type damascène à pas fin combinées à des trous d'interconnexion traversant le silicium