1. b. Profilometers having a measurement accuracy of 0,5 nm (5 angstrom) or less (better).

b. profilomètres ayant une précision de mesure égale ou inférieure à (meilleure que) 0,5 nm (5 angströms).

2. A suitable ultra-thin dielectric is high quality gate oxide of about 50 angstrom thickness or less, as commonly available from presently available advanced CMOS logic processes.

Un diélectrique ultra-mince approprié est un oxyde de grille de haute qualité dont l'épaisseur est inférieure ou égale à environ 50 angström comme ceux dont on dispose actuellement aujourd'hui grâce aux procédés de logique des semi-conducteurs complémentaires à l'oxyde de métal avancés.