1. The project delivered alpha-version prototypes meeting the semiconductor manufacturing requirements of 32 nanometre half-pitch technology.

Das Projekt konnte Alpha-Prototypen liefern, die den Anforderungen der Halbleiterfertigung gemäß der 32-Nanometer-Halfpitch-Technik entsprechen.

2. Overall, thanks to the innovative positioning of the electrodes, the MPA can control centimetre motion with nanometre accuracy.

Insgesamt kann der MPA durch die innovative Elektrodenverteilung eine Bewegung von Zentimetern mit einer Genauigkeit von Nanometern steuern.