1. High-frequency-operated magnetron glow discharge ionisation process and ion source

Verfahren zur hochfrequenzbetriebenen magnetron-glimmentladungsionisation, sowie ionenquelle

2. The electric field in the magnetron oscillator is a product of ac and dc fields.

Durch die an den Schlitzen der Hohlraumresonatoren vorbeifliegenden Elektronen werden diese zum Schwingen angeregt.

3. Said device comprises at least one unbalanced magnetron electrode which is disposed inside a vacuum chamber, is provided with a flat magnetron front (20) with peripheral and central magnet poles having opposite polarity, and is connected to a source (34) of AC voltage.

Eine Vorrichtung zur Durchführung eines Plasma-unterstützten Prozesses, insbesondere einer Plasma-unterstützten, chemischen Abscheidung aus der Gasphase weist in einer Vakuumkammer mindestens eine Magnetron-Elektrode auf, die vom unausgeglichenen Typus ist und eine flache Magnetron-Front (20) mit peripheren und zentralen Magnetpolen entgegengesetzter Polarität aufweist und die an eine Quelle (34) einer Wechselspannung angeschlossen ist.

4. Frequency change in a magnetron relies on the mechanical tuning of a cavity and it is essentially a narrow band device.

Ein Frequenzwechsel mit einem Magnetron erfordert mechanische Änderungen der Resonatoren.