1. The invention relates to an electromigration test device comprising a direct-current source (101) and an alternating voltage source (102).

Die Erfindung betrifft eine Elektromigrations-Testvorrichtung, welche eine Gleichstromquelle (101) und eine Wechselspannungsquelle (102) aufweist.

2. The invention particularly relates to the use of these deposited ternary nickel-containing metal alloys as barrier material or as selective encapsulation material for preventing the diffusion and electromigration of copper in semiconductor components.

Insbesondere bezieht sich die vorliegende Erfindung auf die Anwendung dieser abgeschiedenen ternären nickelhaltigen Metalllegierungen als Barrierenmaterial bzw. als selektives Einkapselungsmaterial zur Verhinderung der Diffusion und Elektromigration von Kupfer in Halbleiterbauelementen.