1. The amorphous parts of the pyrocarbon coatings burn off more quickly than the pyrocarbon itself and thereby a relief-like coating structure appears.

Da hierbei die in die Pyrokohlenstoffschichten eingelagerten Amorphanteile schneller abgebrannt werden als der Pyrokohlenstoff selbst, entwickelt sich eine reliefartige Struktur.

2. This makes it possible to protect the heating structure (28) and also to reduce the voltage needed to burn off particles accumulated on the electrode structures (14, 18).

Dadurch kann die Heizstruktur (28) geschützt werden und ferner die für einen Abbrand von an den Elektrodenstrukturen (14, 18) angelagerten Partikeln benötigte Spannung reduziert werden.