1. Elektronisch gesteuerte Spritzgeräte zur Verarbeitung von Siliziumscheiben mittels Säureätzung und Reinigung

Electronically controlled spray apparatus for processing silicon wafers by acid etching and cleaning

2. Der Vorteil konventioneller Spritzgeräte gegenüber "Airless-Geräten" liegt in der einfachen und robusten Gerätetechnik, die nur wenig Wartung benötigt. Dazu kommt der Vorteil, alle Arten von Material spritzen zu können, auch solche, die bis zu 3 mm große Körner enthalten.

Advantage of Conventional Spray over Airless is the simplicity and robustness of the equipment with minimum of maintenance required and with the ability to spray material of all types including such that contains “grits” or particles of sizes up to 3 mm.