침하 스퍼터링 in Vietnamese
lún phú
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1. 이러한 CIGS 태양전지용 몰리브덴 스퍼터링 타겟 제조방법에 의하면, 방전 플라즈마 소결 공정을 이용하여 스퍼터링 타겟에 적합하게 소결체 제조시 고밀도화가 가능하고 단일 공정으로 짧은 시간에 입자 성장이 거의 없는 균질한 조직, 및 고순도를 갖는 소결체를 제조할 수 있는 이점이 있다.
2. 본 발명은, 원통형 세라믹 타겟과 원통형 백킹 튜브(Backing Tube)로 이루어진 원통형 스퍼터링 타겟을 제조함에 있어서, 원통형 백킹 튜브의 외주에, 중공 원통형 세라믹 타겟을 배치하는 제1 단계; 상기 세라믹 타겟의 외부를 가온하면서, 상기 백킹 튜브 내부에 액체 열매체를 순환 또는 충진시켜, 세라믹 타겟과 백킹 튜브 사이 간극의 온도를 제어하는 제2 단계; 및 상기 세라믹 타겟과 상기 백킹 튜브 사이에 용융상태의 인듐을 충진하여 세라믹 타겟과 백킹 튜브를 접합시키는 제3 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 원통형 스퍼터링 타겟의 제조 방법에 관한 것이다.