기벽 in Korean
기벽(氣癖)[명사] (자부심이 강하여) 남에게 지거나 굽히지 않으려는 성질.
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1. 그 복사열 차단막은 CVD 공정 중에 가열된 폴리실리콘 로드에서 발상되는 복사열을 흡수하여 온도가 400°C 이상으로 가열됨에 따라 그 흡수한 열을 그 폴리실리콘 로드와 냉각 기벽 양쪽으로 재 방사함으로써 냉각 기벽에 대해 열 차단효과를 제공한다.