halbleitertechnologie in Vietnamese

@die Halbleitertechnologie
- {semiconductor technology}

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1. Die Implementierung erfolgt dabei auf Grund- lage modernster Halbleitertechnologie, indem wir unsere Mikrosensorstrukturen durch gezielte mikrosystemtechnische Veredelungsschritte auf einem speziell entwickelten und patentierten Halbleiterchip prozessieren.

2. Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf die Anwendung von stromlos abgeschiedenen ternären nickelhaltigen Metallegierungen des Typs NiM-R (mit M = Mo, W, Re, Cr und R = B, P) in der Halbleitertechnologie.

3. Bei chemischen Prozessen, insbesondere bei der Herstellung von Bauelementen in der Halbleitertechnologie, basierend auf den Materialsystemen der III-V- und II-VI-Verbindungshalbleiter werden die höchst toxischen Prozeßgase Arsin, Phosphin und Schwefelwasserstoff als Ausgangsprodukte eingesetzt. Diese Gase, allgemein als kovalente Hydride der Pniktide (Pnik. = N, P, As, Sb und Bi) bzw.