1. 불순물 제거 기능의 광조사부를 구비하는 증착장치

Appareil de dépôt doté d'un système de rayonnement de lumière servant à éliminer les substances étrangères

2. 본 발명은 기판 후면부에 p+ 영역과 n+ 영역을 형성함에 있어 이온주입 공정과 열확산 공정을 접목시켜 공정 횟수를 최소화할 수 있는 후면전극형 태양전지의 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 후면전극형 태양전지의 제조방법은 n형의 결정질 실리콘 기판을 준비하는 단계와, 상기 기판의 전면, 후면 및 측면 상에 열확산 제어막을 형성하는 단계와, 상기 기판의 후면 상에 p형 불순물 이온을 이온주입하여 p형 불순물 영역을 형성하는 단계와, 상기 기판 후면이 선택적으로 노출되도록 상기 열확산 제어막을 패터닝하는 단계 및 열확산 공정을 실시하여 노출된 기판 후면 영역에 고농도 후면전계층(n+)을 형성함과 함께 상기 기판 전면부에 저농도 전면전계층(n-)을 형성하고, 상기 p형 불순물 영역을 활성화시켜 p+ 에미터 영역을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

La présente invention concerne un procédé de fabrication d'une cellule solaire à contact arrière, selon lequel un procédé d'implantation d'ions et un procédé de diffusion thermique sont combinés pour former une région p+ et une région n+ sur une surface arrière d'un substrat, afin de minimiser le nombre de procédés.

3. 본 발명은 불순물 제거 가능 광조사부를 구비하는 증착장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 불순물 제거 가능 광조사부를 구비하는 증착장치는 소스가 기판 상에 증착되도록 내부에 상기 기판을 수용하는 챔버부; 상기 기판 측으로 자외선 광을 조사하는 광조사부; 광투과성 재질로서 상기 광조사부와 상기 기판 사이에 마련되며 상기 광조사부로부터 발생되는 자외선 광을 상기 챔버부 내로 투과시키는 윈도우, 상기 챔버부 내부에 마련되어 열을 발생시킴으로써 상기 자외선 광의 윈도우 투과를 억제하는 불순물을 제거하는 발열부재로 구성되는 광투과부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

La présente invention concerne un appareil de dépôt doté d'un système de rayonnement de lumière servant à éliminer les substances étrangères, l'appareil comprenant : une partie chambre pouvant accueillir un substrat sur lequel une source peut être déposée ; le système de rayonnement de lumière pour irradier le substrat avec une lumière ultraviolette ; une fenêtre, composée d'un matériau laissant passer la lumière et située entre le système de rayonnement de lumière et le substrat, servant à transmettre la lumière ultraviolette qui est générée par le système de rayonnement de lumière dans la partie chambre ; et une partie transmission de lumière, qui se trouve à l'intérieur de la partie chambre et qui comprend un élément chauffant, servant à éliminer par voie thermique les substances étrangères qui inhibent la transmission de la lumière ultraviolette à travers la fenêtre.

4. 이를 위하여 본 발명은 몸체의 축 중심에 자체 이동에 필요한 동력 및 추진력을 발생시키기 위한 모터와 임펠러가 내장되는 로봇 몸체, 로봇 몸체 내부에 탑재되며 모터와 임펠러 회전에 필요한 동작 전원 및 제어신호를 각각 공급하는 전원부 및 제어부, 로봇 몸체에 설치되며 유체 내부 또는 관 내부의 유체에 관한 다양한 정보들을 각각 수집하는 다수의 측정부, 및 로봇 몸체 내부에 탑재되며 제어부와 외부 제어기기 간의 정보 교환을 위한 통신을 수행하는 통신부, 모터의 회전축 선단부에 일체로 설치되어 모터에 의해 연동하면서 로봇 몸체의 이동 경로상에 위치하는 불순물을 파쇄하는 불순물 파쇄부, 로봇 몸체의 후방 개방부에 탈부착 가능하게 장착되어 로봇 몸체로 유입되는 유체 내에 포함된 불순물을 포집하는 불순물 포집부를 포함하는 유체 내 침투 가능한 이동 로봇을 제공하여, 유체 내부 또는 유체가 존재하는 관 내부에서 유체의 흐름을 방해하지 않으면서도 자체 동력에 의한 이동 및 외부 제어기기와의 통신으로 유체 내 정보의 수집 및 불순물의 제거가 가능하게 한다.

Le robot mobile de la présente invention se déplace de manière autonome au moyen de sa propre puissance et communique avec le dispositif de commande extérieur sans interrompre l'écoulement du fluide ou l'écoulement du fluide dans le tube, de façon à collecter des informations qui se rapportent au fluide et à retirer des impuretés du fluide.

5. 반응 원료에 포함된 할로겐 산을 흡착제로 흡착 및 제거한 후, 상기 반응 원료를 반응기로 재투입시켜 연속적으로 폴리부텐을 제조하는 장치 및 방법이 개시된다. 상기 폴리부텐 제조 시 사용되는 원료의 재순환 장치는, 촉매와 불활성 유기용매에 희석된 반응 원료가 공급 및 중합되어 반응물을 생성하는 반응기; 상기 반응물로부터 촉매 성분을 제거하고 중화하는 중화 및 수세조; 상기 반응물을 유기화합물 및 물로 분리하는 분리조; 상기 유기화합물 중 미반응 원료 및 불활성 유기용매를 증류시키는 C4 증류탑; 및 상기 증류된 미반응 원료 및 불활성 유기용매에 포함된 할로겐 산을 흡착제로 제거하는 불순물 흡착탑을 포함한다.

L'invention concerne un dispositif et un procédé de fabrication continue de polybutène par élimination d'un acide halogéné, qui est compris dans une matière première de réaction, par l'adsorption de l'acide halogéné à l'aide d'un adsorbant, puis par la réintroduction de la matière première de réaction dans un réacteur.