전자렌즈 in Korean
전ː자 렌즈(電子lens)[명사]전자 빔을 전장(電場)이나 자장(磁場)으로 광학계(光學系)의 렌즈와 같이 굴절시켜 상(像)을 맺게 하는 장치.
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1. 본 발명은, 복수개의 전자렌즈 및 각 전자렌즈에 부속하는 다수의 조정코일에 인가되는 전원의 특성을 제어하는 렌즈제어부를 가지는 TEM의 렌즈제어장치로서, (A) 전자렌즈에 인가되는 전원의 특성을 제어하는 전자렌즈제어부와; (B) 상기 조정코일에 연결된 전원특성조정유닛을 통하여 조정코일에 인가되는 전원의 주파수값 및 전류값을 제어하는 조정코일제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 PED패턴 획득을 용이하게 하는 TEM의 렌즈제어장치이다.