배기관 in Korean
배기―관(排氣管)[명사]내연 기관 등에서 쓸모없게 된 증기나 가스를 밖으로 뽑아내는 관.
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1. 본 발명의 무균 및 무취의 산화질소 발생장치는 고전압 방전부에서 방전시 생성되는 오존(O3), 이산화질소(NO2) 등 유해물질은 촉매 반응부에서 각각의 촉매와 접촉시켜 제거하고, 방전과정에서 발생되는 소음은 배기관 내부에 설치된 흡음재에 의해 저감되며, 배기관 내부에 설치된 각각의 센서로 부터 계측된 자료를 전송받아 제어부에서 피드백(FEED BACK) 제어를 실행 및 자동 운전이 되게 함으로써, 무균 및 무취 상태의 고품질 산화질소가 포함된 공기를 실내에 공급 및 순환하여 실내 거주자의 구강, 피부, 호흡과정을 통해 산화질소를 흡수하는데 매우 적합하다.
2. 본 발명은 전원인가시 회전구동력을 발생시키는 모터부재; 상기 모터부재의 구동축에 연결되는 회전판의 하부면에 와류발생용 날개를 복수개 구비하여 회전시 상기 회전판의 하부에 외부공기를 하부로부터 상부로 흡입하는 흡입영역을 형성하도록 와류를 발생시키는 스월러팬; 상기 스월러팬과 대응하는 입구 단부에 관통형성된 일정크기의 흡입구를 갖는 배기관; 을 포함하고, 상기 배기관에는 상기 스월러팬에 의해서 발생하는 와류에 기인하는 흡입영역의 외경이 상기 배기관의 입구단부에서 배기관의 중심으로 향하여 모아지면서 상기 흡입영역의 전체길이가 길어지도록 제어하는 와류제어부를 구비한다.
3. 본 발명에 따른 복수개의 기판을 동시에 기판처리할 수 있는 배치식 기판처리 장치(1)는, 복수개의 기판(10)에 대하여 기판처리 공간을 제공하는 챔버(20); 복수개의 기판(10)이 로딩되어 지지되는 보트(30); 기판(10)의 적층 방향을 따라 일정 간격을 가지면서 배치되는 복수개의 히터(70); 및 챔버(20)의 내부 일측에 설치되는 가스관 베이스(300) - 가스관 베이스(300)에는 가스 공급관(100) 및 가스 배기관(200)이 연결됨 -; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.